渠道滑模机大大节省人力财力

渠道滑模机大大节省人力财力

　　沟渠滑模机主要作用是修建沟渠，沟渠可以大略地分成两种。一种是平常在路边随处可见的雨水下水道，另一种是将住家以及工厂的废水，以密闭管道的方式，输送到污水处理厂的污水下水道。雨水下水道的建设大致上已经完成，而污水下水道的建设依旧有赖政府和人民的互相配合，共同将污水下水道的连接普及化。
　　两种沟渠对生活和生产都有着很重要的作用，而修建他们却不是一件容易的事情，需要耗费大量的人力和物力。在没有正式机器之前沟渠是如何修建的呢？
　　一种浅沟渠隔离结构的制造方法，于一基底上依序形成垫氧化层、罩幕层、介电抗反射涂布层与顶盖氧化层，然后于基底中形成一沟渠。接着，再于沟渠表面形成衬氧化层，且于基底上形成绝缘层并填满沟渠。随后以罩幕层作为研磨终点，以使用光学终点侦测系统作终点侦测的化学机械研磨制作工艺去除罩幕层上的绝缘层、介电抗反射涂布层与顶盖氧化层，其中罩幕层的厚度控制在固定范围，且介电抗反射涂布层的厚度控制在固定范围，使得光学终点侦测系统所使用的光源可以产生具有反射光信号。然后再去除罩幕层与垫氧化层。

　　一种浅沟渠隔离结构的制造方法，其特征在于：其步骤包括：提供一基底；于该基底上形成一垫氧化层；于该垫氧化层上形成一罩幕层；于该罩幕层上形成一介电抗反射涂布层；于该介电抗反射涂布层上形成一顶盖氧化层；于该顶盖氧化层上形成一图案化光阻层；以该图案化光阻层为罩幕，对该顶盖氧化层、该介电抗反射涂布层、该罩幕层与该垫氧化层进行蚀刻，并持续蚀刻至该基底内，以形成一沟渠；去除该图案化光阻层；于该沟渠的表面形成一衬氧化层；于该基底上形成一绝缘层并填满该沟渠；以该罩幕层作为研磨终点，利用一化学机械研磨制作工艺去除该罩幕层上的部分该绝缘层、该介电抗反射涂布层与该顶盖氧化层，其中，该化学机械研磨制作工艺中使用一光学终点侦测系统作终点侦测；去除该罩幕层；移除该垫氧化层，其中，该罩幕层的厚度被控制在一固定范围，且该介电抗反射涂布层的厚度被控制在一固定范围，使得该光学终点侦测系统所使用的一光源可以产生具有反射光信号。
　　可以看出还是很复杂的，机器的修建大大的解决了这个问题，是修建变得轻松起来，大大的节省了人力和物力。